サカモト　ユキヒロ   Yukihiro Sakamoto   坂本　幸弘    所属   千葉工業大学  工学部 先端材料工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 先端材料工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2013/01
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	プラズマCVDにより合成した結晶性窒化炭素のトライボロジー特性に及ぼすCH4流量の影響
執筆形態	共著
掲載誌名	砥粒加工学会誌
巻・号・頁	57(1),39-42頁
著者・共著者	田中一平，高橋芳弘
概要	マイクロ波プラズマCVDで合成した窒化炭素膜のトライボロジー特性について検討した。AESによる分析結果CH４流量を変化させることにより窒素含有率が変化した。窒素含有率の高い生成物はSUJ2を相手材として用いた場合に高い耐摩耗性を示した。