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サカモト ユキヒロ
Yukihiro Sakamoto
坂本 幸弘 所属 千葉工業大学 工学部 先端材料工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 先端材料工学専攻 職種 教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2011/02 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | RFスパッタリングによる窒化ホウ素膜の作製におけるスパッタガスの影響 |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | 砥粒加工学会誌 |
| 出版社・発行元 | 知立加工学会 |
| 巻・号・頁 | 55(2),108-112頁 |
| 著者・共著者 | 今宮麻衣 |