サカモト　ユキヒロ   Yukihiro Sakamoto   坂本　幸弘    所属   千葉工業大学  工学部 先端材料工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 先端材料工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1997/04
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	マイクロ波プラズマＣＶＤによるＣＨ４－ＣＯ－Ｈ２系ガスでのＳｉ（１００）基板へのダイヤモンド合成
執筆形態	共著
掲載誌名	千葉工業大学研究報告　　理工編
巻・号・頁	(44),9～14頁
著者・共著者	坂本幸弘，　　高谷松文，　　顧長志（吉林大学，千葉工業大学客員研究員）