サカモト　ユキヒロ   Yukihiro Sakamoto   坂本　幸弘    所属   千葉工業大学  工学部 先端材料工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 先端材料工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2007/09
形態種別	論文その他
査読	査読あり
標題	Synthesis of diamond using microwave plasma CVD from CH4-H2-O2 reaction gas system
執筆形態	共著
出版社・発行元	The 18th symposium of the materials research society of Japan