サカモト ユキヒロ
Yukihiro Sakamoto
坂本 幸弘
所属
千葉工業大学 工学部 先端材料工学科
千葉工業大学 工学研究科 工学専攻
千葉工業大学 工学研究科 先端材料工学専攻
職種
教授
言語種別
日本語
発行・発表の年月
2003/01
形態種別
単行本
標題
薄膜作製プロセスにおける成膜条件の最適化～事例を挙げた問題点と解決手法～
執筆形態
共著
出版社・発行元
技術情報協会
著者・共著者
高薄一弘編