サカモト ユキヒロ   Yukihiro Sakamoto
  坂本 幸弘
   所属   千葉工業大学  工学部 先端材料工学科
   千葉工業大学  工学研究科 工学専攻
   千葉工業大学  工学研究科 先端材料工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2003/02
形態種別 単行本
標題 プラズマを用いた素材の表面改質技術
執筆形態 共著
出版社・発行元 プラズマを媒体とする素材表面改質処理プロセス技術調査専門委員会編,電気学会