サカモト ユキヒロ   Yukihiro Sakamoto
  坂本 幸弘
   所属   千葉工業大学  工学部 先端材料工学科
   千葉工業大学  工学研究科 工学専攻
   千葉工業大学  工学研究科 先端材料工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1996/07
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 マイクロ波プラズマCVDにより作製したダイヤモンド膜のAFM観察
執筆形態 共著
掲載誌名 表面技術 表面技術協会
巻・号・頁 47(7),638~639頁
著者・共著者 沖口  圭子(ニコン),杉村  博之(ニコン),坂本 幸弘,高谷 松文