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スガ ヒロシ
Hiroshi Suga
菅 洋志 所属 千葉工業大学 工学部 機械電子創成工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 機械電子創成工学専攻 職種 教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2018/05 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | Kyohei Hashiguchi, Kenta Suzuki, Hiroshi Hiroshima, Yasuhisa Naitoh, and Hiroshi Suga: "Evaluation of Nanoimprinting Multilayer Lift-off Process using Spin-on-glass for Nanogap Electrode Array" Journal of Photopolymer Science and Technology 31, 227-282 (2018.5). https://doi.org/10.2494/photopolymer.31.277 |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | Journal of Photopolymer Science and Technology |
| 掲載区分 | 国外 |
| 巻・号・頁 | 31,277-282頁 |