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スガ ヒロシ
Hiroshi Suga
菅 洋志 所属 千葉工業大学 工学部 機械電子創成工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 機械電子創成工学専攻 職種 教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2017/04 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 標題 | 吸引プラズマエッチング法を用いたSiO2ダイアフラム構造作製技術の開発 |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | Journal of the Vacuum Society of Japan |
| 掲載区分 | 国内 |
| 出版社・発行元 | Vacuum Society of Japan |
| 巻・号・頁 | 60,148-152頁 |
| 著者・共著者 | 狩野諒、新堀俊一郎、高橋賢、久保利隆、安藤淳、清水哲夫、宮脇淳 |