ヒラタ　アキヒコ   Hirata Akihiko   枚田　明彦    所属   千葉工業大学  工学部 情報通信システム工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 情報通信システム工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1997/11
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Electrical characteristics of a WSix contact electrode with a WSixN diffusion barrier formed by using electron cyclotron resonance plasma nitridation
執筆形態	共著
掲載誌名	Journal of the Electrochemical Society
掲載区分	国外
巻・号・頁	144(11),pp.3993-3998
著者・共著者	Akihiko Hirata, Tetsuo Hosoya, Katsuyuki Machida, Hakaru Kyuragi and Hideo Akiya