タキノ　ヒデオ   HIDEO TAKINO   瀧野　日出雄    所属   千葉工業大学  工学部 機械工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2007
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Smoothing of diamond-turned copper surfaces using ion beams with aid of planarization film
執筆形態	共著
掲載誌名	Jpn J. Applied Physics
巻・号・頁	46(9A),pp.6071-6073
著者・共著者	Frank Frost, Hideo Takino, Renate Fechner, Axel Schindler, Namiko Ohi, Kazushi Nomura