サトウ　ノブオ   Satoh Nobuo   佐藤　宣夫    所属   千葉工業大学  工学部 宇宙・半導体工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2007/08/23
形態種別	学術雑誌
標題	Development of multi-probe AFM with optical beam deflection method
執筆形態	共著
掲載誌名	Japanese Journal of Applied Physics
掲載区分	国外
出版社・発行元	The Japan Society of Applied Physics
巻・号・頁	46(8B),pp.5636-5638
著者・共著者	E. Tsunemi, N. Satoh, Y. Miyato, K. Kobayashi, K. Matsushige and H. Yamada
DOI	10.1143/JJAP.46.5636
PermalinkURL	https://iopscience.iop.org/article/10.1143/JJAP.46.5636