ヒラタ　アキヒコ   Hirata Akihiko   枚田　明彦    所属   千葉工業大学  工学部 情報通信システム工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 情報通信システム工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2000/03
形態種別	学術雑誌
標題	A electrostatic micromechanical switch for logic operation in multichip modules on Si
執筆形態	共著
掲載誌名	Sensors and Actuators A (Physical)
掲載区分	国外
巻・号・頁	A80(2),pp.119-125
著者・共著者	Akihiko Hirata, Katsuyuki Machida, Hakaru Kyuragi, and Masahiko Maeda