ヒラタ　アキヒコ   Hirata Akihiko   枚田　明彦    所属   千葉工業大学  工学部 情報通信システム工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 情報通信システム工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2000/11
形態種別	学術雑誌
標題	Microfabrication technology for high-speed Si-based systems
執筆形態	共著
掲載誌名	Proceedings of the SPIE
掲載区分	国外
巻・号・頁	4320,pp.43-52
著者・共著者	H. Ishii, S. Yagi, K. Saito, A. Hirata, K. Kudo, M. Yano, T. Nagatsuma, K. Machida, and H. Kyuragi