ヤマウチ ヒロシ   Yamauchi Hiroshi
  山内 博
   所属   千葉工業大学  工学部 宇宙・半導体工学科
   職種   准教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2010/05
形態種別 論文その他
標題 シリコーン樹脂絶縁膜を用いた積層型CMOS回路の作製
執筆形態 共著
掲載誌名 電子情報通信学会技術研究報告
掲載区分国内
巻・号・頁 110(59),7-10頁
著者・共著者 菊地幸大,山内博,飯塚正明,酒井正俊,中村雅一,工藤一浩