クスヤマ　ジュンペイ   Kusuyama Jumpei   楠山　純平    所属   千葉工業大学  工学部 機械工学科    千葉工業大学  工学研究科 機械工学専攻    職種   准教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2017/11
形態種別	学術雑誌
標題	Siウエハのロータリ研削における砥粒貫入角度が加工特性におよぼす影響
執筆形態	共著
掲載誌名	砥粒加工学会誌
掲載区分	国内
出版社・発行元	砥粒加工学会
巻・号・頁	61(11),607-612頁
著者・共著者	楠山純平,由井明紀,北嶋孝之,伊東利洋
ISSN	0914-2703
NAID	40021382256
PermalinkURL	http://id.ndl.go.jp/bib/028657433