サトウ　ノブオ   Satoh Nobuo   佐藤　宣夫    所属   千葉工業大学  工学部 宇宙・半導体工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2008/08
形態種別	国際会議プロシーディングス
査読	査読あり
標題	Local Potential Imaging of a Multilayer Ceramic Capacitor Using Kelvin Probe Force Microscopy
執筆形態	共著
掲載誌名	Microscopy and Microanalysis
出版社・発行元	Cambridge University Press
巻・号・頁	14(S2),pp.960-961
著者・共著者	T. Komatsubara, S. Higuchi, K. Nishikata, N. Satoh, K. Kobayashi, and H. Yamada
DOI	https://doi.org/10.1017/S1431927608084298