タキノ　ヒデオ   HIDEO TAKINO   瀧野　日出雄    所属   千葉工業大学  工学部 機械工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2002
形態種別	国際会議プロシーディングス
標題	Fabrication of a fly-eye mirror for an extreme ultraviolet lithography illumination system by arranging silicon mirror elements
執筆形態	共著
掲載誌名	Proc. SPIE 4688
巻・号・頁	pp.648-655
著者・共著者	Hideo Takino, Teruki Kobayashi, Kazushi Nomura, Masaaki Kuki, Akinori Itoh, Junji Nakamura, Hideki Komatsuda, Norio Shibata