クスヤマ ジュンペイ
Kusuyama Jumpei
楠山 純平 所属 千葉工業大学 工学部 機械工学科 千葉工業大学 工学研究科 機械工学専攻 職種 准教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 2017/08 |
形態種別 | 学術雑誌 |
標題 | 大径シリコンウエハ加工用ロータリ研削盤の開発(第2報:切込み機構内蔵砥石スピンドルの基本特性の検討) |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | 砥粒加工学会誌 |
掲載区分 | 国内 |
出版社・発行元 | 砥粒加工学会 |
巻・号・頁 | 83(852) |
著者・共著者 | 楠山純平,本多歩,岩橋伸太郎,北嶋孝之,由井明紀,伊東利洋,Lu X,Slocum A. H |