サトウ　ノブオ   Satoh Nobuo   佐藤　宣夫    所属   千葉工業大学  工学部 宇宙・半導体工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2021/10/01
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	走査型プローブ顕微鏡を用いた電圧印加中のSiCプレーナ型パワーMOSFETの観測
執筆形態	共著
掲載誌名	電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
掲載区分	国内
出版社・発行元	電気学会
巻・号・頁	141(10),349-355頁
総ページ数	7
担当区分	責任著者
著者・共著者	土井 敦史, 佐藤 宣夫, 山本 秀和
DOI	https://doi.org/10.1541/ieejsmas.141.349
ISSN	1341-8939
NAID	130008095572