|
クスヤマ ジュンペイ
Kusuyama Jumpei
楠山 純平 所属 千葉工業大学 工学部 機械工学科 千葉工業大学 工学研究科 機械工学専攻 職種 准教授 |
|
| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2016/10 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | 大径シリコンウエハ加工用ロータリ研削盤の開発（第１報：第１報：水静圧ロータリテーブルの基本特性の検討） |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | 日本機械学会論文集 |
| 掲載区分 | 国内 |
| 出版社・発行元 | 日本機械学会 |
| 巻・号・頁 | 82(842) |
| 著者・共著者 | 楠山純平,本多歩,北嶋孝之,岡畑豪,由井明紀,伊東利洋,Slocum A. H |