タキノ　ヒデオ   HIDEO TAKINO   瀧野　日出雄    所属   千葉工業大学  工学部 機械工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2007
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	5-axis ultraprecision machining of complex- shaped mirrors for extreme ultraviolet lithography system
執筆形態	共著
掲載誌名	Annals of the CIRP
巻・号・頁	56(1),pp.123-126
著者・共著者	Hideo Takino, Tomohiko Kawai, Yoshimi Takeuchi