サトウ　ノブオ   Satoh Nobuo   佐藤　宣夫    所属   千葉工業大学  工学部 宇宙・半導体工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2011/03/16
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Nanoscale liquid droplet deposition using the ultrasmall aperture on a dynamic mode AFM tip
執筆形態	共著
掲載誌名	Nanotechnology
掲載区分	国外
巻・号・頁	22(17),pp.175301-1-175301-5
著者・共著者	K. Kaisei, N. Satoh, K. Kobayashi, K. Matsushige, and H. Yamada
概要	We have developed a novel method for nanometer-sized droplet deposition of electrically conductive liquids based on the dynamic mode atomic force microscopy (AFM). We succeeded in depositing liquid droplets with a volume of ten zeptoliters or smaller and in making arrays of the droplets with a spacing of several tens of nanometers using the AFM cantilever with a small aperture fabricated by a focused ion beam. The liquid droplets were deposited through the aperture by applying an electric field between the liquid and a conductive surface.
DOI	10.1088/0957-4484/22/17/175301
PermalinkURL	https://iopscience.iop.org/article/10.1088/0957-4484/22/17/175301/pdf