サトウ　ノブオ   Satoh Nobuo   佐藤　宣夫    所属   千葉工業大学  工学部 宇宙・半導体工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2016/04/01
形態種別	学術雑誌
標題	走査型プローブ顕微鏡によるサファイア基板上窒化ガリウム層の表面形状及び表面電位観測
執筆形態	共著
掲載誌名	電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌
掲載区分	国内
出版社・発行元	一般社団法人 電気学会
巻・号・頁	136(4),96-101頁
総ページ数	6
著者・共著者	潤間 威史, 佐藤 宣夫, 石川 博康
DOI	https://doi.org/10.1541/ieejsmas.136.96
ISSN	1341-8939
NAID	130005141444