サトウ　ノブオ   Satoh Nobuo   佐藤　宣夫    所属   千葉工業大学  工学部 宇宙・半導体工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2015/04/01
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	直下入射方式の光てこ変位検出によるツインプローブ原子間力顕微鏡
執筆形態	共著
掲載誌名	電気学会論文誌. E, セTwin-probe Atomic Force Microscopy with Optical Beam Deflection using Vertically Incident Lasers by Two Beam Splitterンサ・マイクロマシン部門誌
掲載区分	国内
出版社・発行元	一般社団法人 電気学会
巻・号・頁	135(4),135-141頁
総ページ数	7
担当区分	筆頭著者,責任著者
著者・共著者	佐藤 宣夫, 常見 英加, 小林 圭, 小松原 隆司, 樋口 誠司, 松重 和美, 山田 啓文
概要	シリコンカンチレバー探針を使用したツインプローブ原子間力顕微鏡（AFM）システムを開発した．このシステムは，各チューブ型アクチュエータに取り付けられた各カンチレバー探針の撓みを検出するために，光ビーム偏向法を採用した．各アクチュエータに取り付けられたカンチレバー探針は，手動スライダーに取り付けられたプローブ位置の独立制御を実現した．2つのカンチレバー探針の各変位検出感度は90 fm/√Hz以下を達成しています．40 µmの距離で互いに接近した状態での形状画像の同時観察に成功した．
DOI	https://doi.org/10.1541/ieejsmas.135.135
ISSN	1341-8939
NAID	130005061969
PermalinkURL	https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/135/4/135_135/_article/-char/ja/