|
オダ アキノリ
ODA Akinori
小田 昭紀 所属 千葉工業大学 工学部 電気電子工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 電気電子工学専攻 職種 教授 |
|
| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2022/01 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 標題 | 大電力パルススパッタリングを用いた有機基板へのダイヤモンドライクカーボン成膜 |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | 表面技術 |
| 掲載区分 | 国内 |
| 出版社・発行元 | 表面技術協会 |
| 巻・号・頁 | 73(1),47-52頁 |
| 総ページ数 | 6 |
| 著者・共著者 | 太田 貴之，大串 陸人，小田 昭紀，上坂 裕之 |