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オダ アキノリ
ODA Akinori
小田 昭紀 所属 千葉工業大学 工学部 電気電子工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 電気電子工学専攻 職種 教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2022/06 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | 質量分析によるSi-DLC 成膜用Si(CH3)4 プラズマから基板への入射ラジカルとイオンの計測 |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） |
| 掲載区分 | 国内 |
| 出版社・発行元 | 電気学会 |
| 巻・号・頁 | 142(6),269-275頁 |
| 総ページ数 | 7 |
| 担当区分 | 責任著者 |
| 著者・共著者 | 鈴木 駿, 渡邉 泰章, 石井 晃一, 小田 昭紀, 上坂 裕之, 太田 貴之 |