クスヤマ　ジュンペイ   Kusuyama Jumpei   楠山　純平    所属   千葉工業大学  工学部 機械工学科    千葉工業大学  工学研究科 機械工学専攻    職種   准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2016/10
形態種別	国際会議プロシーディングス
査読	査読あり
標題	Effects of Relative Velocity on Grinding Performances under Rotary Grinding of Si Wafer
執筆形態	共著
掲載誌名	Materials Science Forum
掲載区分	国外
巻・号・頁	874,pp.655-660
著者・共著者	Jumpei KUSUYAMA,Takayuki KITAJIMA,Akinori YUI,Toshihiro ITO