サカモト　ユキヒロ   Yukihiro Sakamoto   坂本　幸弘    所属   千葉工業大学  工学部 先端材料工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 先端材料工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1996/10
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Low　Temperature　Diamond　Growth　Using　Microwave　Plasma　CVD
執筆形態	共著
掲載誌名	Journal　of　Korean　Institute　of　Surface　Engineering
巻・号・頁	29(5),487～493頁
著者・共著者	Yukihiro　Sakamoto，　　Matsufumi　Takaya，　　Kibatsu　Shinohara（日本高周波株式会社）