オダ　アキノリ   ODA Akinori   小田　昭紀    所属   千葉工業大学  工学部 電気電子工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2023/06
形態種別	学術雑誌
標題	Effect of pulse width on deposition of diamond-like carbon on high-power pulsed magnetron sputtering
執筆形態	共著
掲載誌名	Japanese Journal of Applied Physics
掲載区分	国外
出版社・発行元	The Japan Society of Applied Physics
巻・号・頁	62,pp.SL1019
総ページ数	8
著者・共著者	Takayuki Ohta, Jo Matsumura, Shinsuke Kunitsugu, Akinori Oda and Hiroyuki Kousaka