オダ アキノリ   ODA Akinori
  小田 昭紀
   所属   千葉工業大学  工学部 電気電子工学科
   千葉工業大学  工学研究科 工学専攻
   千葉工業大学  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2024/07
形態種別 学術雑誌
標題 Effect of pulse interval on deposition of diamond-like carbon through high-power impulse magnetron sputtering
執筆形態 共著
掲載区分国外
巻・号・頁 148,pp.111424
総ページ数 6
著者・共著者 Takayuki Ohta, Hiro Kunieda, Toru Harigai, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka