オダ　アキノリ   ODA Akinori   小田　昭紀    所属   千葉工業大学  工学部 電気電子工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2024/11
形態種別	国際会議プロシーディングス
査読	査読あり
標題	Behavior of ions on carbon-HiPIMS using various noble gases
執筆形態	共著
掲載誌名	Proceedings of International Symposium on Dry Process
掲載区分	国内
巻・号・頁	45,pp.89-90
総ページ数	2
著者・共著者	Shiro Matsumoto, Hiroyuki Kousaka, Akinori Oda, Takayuki Ohta