ヤマウチ ヒロシ   Yamauchi Hiroshi
  山内 博
   所属   千葉工業大学  工学部 宇宙・半導体工学科
   職種   准教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2017/06/29
形態種別 論文その他
標題 低In、Ga領域における低温塗布プロセスIGZO薄膜トランジスタの作製と評価 (誘電・絶縁材料 電子材料合同研究会 ナノ構造制御有機薄膜・デバイス,フレキシブルデバイス,バイオエレクトロニクス)
執筆形態 共著
掲載誌名 電気学会研究会資料. EFM
掲載区分国内
出版社・発行元 電気学会
巻・号・頁 2017(1),29-32頁
著者・共著者 工藤 一浩,田中 光,山内 博,岡田 悠悟,酒井 正俊