オダ　アキノリ   ODA Akinori   小田　昭紀    所属   千葉工業大学  工学部 電気電子工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2019/01
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Formation of diamond-like carbon film using high-power impulse magnetron sputtering
執筆形態	共著
掲載誌名	Thin Solid Films
掲載区分	国外
出版社・発行元	ELSEVIER SCIENCE
巻・号・頁	672,pp.104-108
著者・共著者	Kazunori Iga, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka, Takayuki Ohta