サカモト ユキヒロ   Yukihiro Sakamoto
  坂本 幸弘
   所属   千葉工業大学  工学部 先端材料工学科
   千葉工業大学  工学研究科 工学専攻
   千葉工業大学  工学研究科 先端材料工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2020/07
形態種別 学術雑誌
標題 モード変換型マイクロ波プラズマCVDによるBドープダイヤモンド合成における発光スペクトルとB含有量の関係
執筆形態 共著
掲載誌名 表面技術
掲載区分国内
出版社・発行元 表面技術協会
巻・号・頁 71(7),473-477頁
総ページ数 5
担当区分 責任著者
著者・共著者 鈴木飛鳥、丸子拓也、高橋芳弘、坂本幸弘