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サカモト ユキヒロ
Yukihiro Sakamoto
坂本 幸弘 所属 千葉工業大学 工学部 先端材料工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 先端材料工学専攻 職種 教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2019/08 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 標題 | RFスパッタリング法による窒化ホウ素膜の作製と機械的特性 |
| 執筆形態 | 単著 |
| 掲載誌名 | 日本材料科学会誌“材料の科学と工学” |
| 出版社・発行元 | 日本材料科学会 |
| 巻・号・頁 | 56(4),152-157頁 |
| 総ページ数 | 6 |
| 著者・共著者 | 丸子拓也，今宮麻衣，鈴木飛鳥，高橋芳弘，坂本幸弘 |