サカモト　ユキヒロ   Yukihiro Sakamoto   坂本　幸弘    所属   千葉工業大学  工学部 先端材料工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 先端材料工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2019/06
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Estimate of Optical Emission Spectroscopy on synthesizing B-doped Diamond using Mode conversion Type Microwave plasma CVD
執筆形態	共著
掲載誌名	Materials Science and Technology of Japan
出版社・発行元	日本材料科学会
巻・号・頁	56(3),pp.109-112
総ページ数	4
著者・共著者	Asuka Suzuki, Takuya Maruko, Tomoya Sakuma, Yoshihiro Takahashi, Yukihiro Sakamoto