サカモト ユキヒロ   Yukihiro Sakamoto
  坂本 幸弘
   所属   千葉工業大学  工学部 先端材料工学科
   千葉工業大学  工学研究科 工学専攻
   千葉工業大学  工学研究科 先端材料工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2014/10
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 モード変換型マイクロ波プラズマCVDによるBドープダイヤモンドの合成-電気的特性に及ぼす反応ガス流量の影響-
執筆形態 共著
掲載誌名 材料の科学と工学
掲載区分国内
出版社・発行元 日本材料科学会
巻・号・頁 51,198-202頁
著者・共著者 今宮麻衣,玉村秀司