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サカモト ユキヒロ
Yukihiro Sakamoto
坂本 幸弘 所属 千葉工業大学 工学部 先端材料工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 先端材料工学専攻 職種 教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2014/10 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 標題 | RF反応性スパッタリングによるCNx膜の作製－膜構造および機械的特性に及ぼす試料台電位とスパッタガスの影響－ |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | 砥粒加工学会誌 |
| 掲載区分 | 国内 |
| 出版社・発行元 | 砥粒加工学会 |
| 巻・号・頁 | 58(10),644-651頁 |