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サカモト ユキヒロ
Yukihiro Sakamoto
坂本 幸弘 所属 千葉工業大学 工学部 先端材料工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 先端材料工学専攻 職種 教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2015 |
| 形態種別 | 大学・研究所等紀要 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | RF反応性スパッタリングによるCNx膜形成における摩擦特性に及ぼすスパッタガスの影響 |
| 執筆形態 | 単著 |
| 掲載誌名 | 千葉工業大学研究報告 |
| 掲載区分 | 国内 |
| 出版社・発行元 | 千葉工業大学 |
| 巻・号・頁 | 62,9-14頁 |
| 著者・共著者 | 城谷友保，斎藤邦夫，川名淳雄 |