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サカモト ユキヒロ
Yukihiro Sakamoto
坂本 幸弘 所属 千葉工業大学 工学部 先端材料工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 先端材料工学専攻 職種 教授 |
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| 言語種別 | 英語 |
| 発行・発表の年月 | 2016/04 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | Preparation of CNx films by RF Reactive Sputtering -Effects of Sputtering Gas on the Hardness and Friction Coefficient |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | Material Science and Technology of Japan |
| 掲載区分 | 国内 |
| 巻・号・頁 | 53,pp.56-60 |