オダ　アキノリ   ODA Akinori   小田　昭紀    所属   千葉工業大学  工学部 電気電子工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2015/09
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Numerical Analysis of Substrate-Incident Carbon Flux in Low-Pressure Radio-Frequency CH4 Plasmas for Deposition of Diamond-Like Carbon Films
執筆形態	共著
掲載誌名	Electronics and Communications in Japan
掲載区分	国外
巻・号・頁	98(9),pp.31-39
著者・共著者	A. Oda and H. Kousaka