クスヤマ　ジュンペイ   Kusuyama Jumpei   楠山　純平    所属   千葉工業大学  工学部 機械工学科    千葉工業大学  工学研究科 機械工学専攻    職種   准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2015/10
形態種別	国際会議プロシーディングス
査読	査読あり
標題	Loop Stiffness of Grinding Machine Developed for 450 mm Silicon Wafers
執筆形態	共著
掲載誌名	Advanced Materials Research
掲載区分	国外
巻・号・頁	1136,pp.395-400
著者・共著者	Jumpei KUSUYAMA,Shintaro IWAHASHI,Takayuki KITAJIMA,Nagahisa OGASAWARA,Akinori YUI,Hirotsugu SAITO,Alexander H. SLOCUM