スガ　ヒロシ   Hiroshi Suga   菅　洋志    所属   千葉工業大学  工学部 宇宙・半導体工学科    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2018/05
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Kyohei Hashiguchi, Kenta Suzuki, Hiroshi Hiroshima, Yasuhisa Naitoh, and Hiroshi Suga: "Evaluation of Nanoimprinting Multilayer Lift-off Process using Spin-on-glass for Nanogap Electrode Array" Journal of Photopolymer Science and Technology 31, 227-282 (2018.5). https://doi.org/10.2494/photopolymer.31.277
執筆形態	共著
掲載誌名	Journal of Photopolymer Science and Technology
掲載区分	国外
巻・号・頁	31,277-282頁