ハラ　ショウタロウ   Shotaro Hara   原　祥太郎    所属   千葉工業大学  工学部 機械工学科    千葉工業大学  工学研究科 機械工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2004/05
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Development of a molecular dynamics potential for Si-H systems and its application to CVD reaction process.
執筆形態	共著
掲載誌名	Surface Science
出版社・発行元	Elsevier
巻・号・頁	560(1-3),pp.1-11
著者・共著者	S. Izumi, Y. Sato, S. Hara, S. Sakai
DOI	10.1016/j.susc.2004.05.048
ISSN	0039-6028