タキノ　ヒデオ   HIDEO TAKINO   瀧野　日出雄    所属   千葉工業大学  工学部 機械工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2004
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Ultraprecision 5-axis control machining of fly-eye mirror in EUV lithography
執筆形態	共著
掲載誌名	JSME Int. Journal,Series C
巻・号・頁	47(3),pp.916-924
著者・共著者	Yoshinori Hashimoto, Yoshimi Takeuchi, Tomohiko Kawai, Kiyoshi Sawada, Hideo Takino, Kazushi Nomura