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タキノ ヒデオ
HIDEO TAKINO
瀧野 日出雄 所属 千葉工業大学 工学部 機械工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 機械工学専攻 職種 教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2003 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | EUV露光装置光学系フライアイミラーの超精密5軸制御加工 |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | 日本機械学会論文集（C編） |
| 巻・号・頁 | 69(683),1906-1913頁 |
| 著者・共著者 | 橋本義則，竹内芳美，河合知彦，沢田潔，瀧野日出雄，野村和司 |