タカハシ　ヨシヒロ   Yoshihiro Takahashi   高橋　芳弘    所属   千葉工業大学  工学部 機械工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2019/06
形態種別	学術雑誌
標題	Estimation of Optical Emission Spectroscopy on synthesizing B-doped Diamond using Mode Conversion Type Microwave Plasma CVD
執筆形態	共著
掲載誌名	日本材料科学会誌“材料の科学と工学”
掲載区分	国内
出版社・発行元	日本材料科学会
巻・号・頁	56(3),109-112頁
著者・共著者	Asuka SUZUKI, Takuya MARUKO, Tomoya SAKUMA, Yoshihiro TAKAHASHI, Yukihiro SAKAMOTO