サトウ　ノブオ   Satoh Nobuo   佐藤　宣夫    所属   千葉工業大学  工学部 宇宙・半導体工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2000/01/03
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Stress reduction and structural quality improvement due to In doping in GaAs/Si
執筆形態	共著
掲載誌名	Materials Science and Engineering: B
巻・号・頁	68(3),pp.166-170
著者・共著者	S. Saravanan, M. Adachi, N. Satoh, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno
DOI	10.1016/S0921-5107(99)00476-6
ISSN	0921-5107
PermalinkURL	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0921510799004766