オダ　アキノリ   ODA Akinori   小田　昭紀    所属   千葉工業大学  工学部 電気電子工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2002/11
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Two-dimensional modelling of CF4 rf plasmas: periodic steady state, transient response after step change of power source voltage, and comparison with one-dimensional modelling
執筆形態	共著
掲載誌名	Journal of Physics D: Applied Physics
出版社・発行元	Institute of Physics
巻・号・頁	35(22),pp.2978-2987
著者・共著者	S-Y. So, A. Oda, H. Sugawara and Y. Sakai